中古 京三製作所 Kyosan RF電源 RFK30ZH

13.56MHzの高周波電力を作り、スパッタリング装置のカソードに送ってプラズマを立てるRFスパッタ用の電源。直流では放電を保てない絶縁物のターゲットも成膜できるため、酸化物や窒化物などの絶縁膜のスパッタに使われる。定格出力は3kW。
RFジェネレータ本体に、RFスパッタ電源コントローラーとRFマッチングボックスコントローラーをラックに収めた構成で、整合はマニュアルとオートを切り替えられ、整合位置とチューン位置を手動でも操作できる。成膜条件を詰めるときに、マッチングの状態を手で追い込める作りになっている。
定格出力3kWは現品のパネル表記「3kW RF GENERATOR」による。型式末尾のZHが指す冷却方式や入力電圧などの仕様はメーカーの公開資料に記載がなく、確認できていない。整合器(マッチングボックス)本体が付属するかは個体による。