中古 アルバック Ulvac RF電源 RFS-05C

13.56MHzの高周波電力を作り、整合器を通して真空容器の電極へ送ってプラズマを立てるRF電源。スパッタリングやドライエッチング、プラズマCVD、表面の改質などの装置に組み込んで使われる。直流と違って高周波なら電極やターゲットが絶縁物でも放電を保てるため、酸化物などの絶縁材料のスパッタにも使われる。電極側のインピーダンスに合わせる整合器は、電源とは別に置く。
出力は500W。前面パネルにはPOWER・INT.LOCK・RF ON・OVER POW・FAILUREの表示があり、電源の投入、インターロック、高周波の出力中、過電力、異常の各状態を見分けられる。運転の累計時間を見る積算時間計も備える。
値は現品の前面パネルの表記による。入力電源・出力インピーダンス・寸法・質量は公式の資料が無く確かめられていない。メーカーの現行品はRFS-Nシリーズ。