中古 アルバック Ulvac RF電源 RFS-1305A3
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- メーカー
- アルバック Ulvac
- 型式
- RFS-1305A3
- 機種
- RF電源
- 仕様
- 500W
- 管理番号
- Z26062204
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
RFS-1305A3 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 種別 | プラズマ用 RF電源(RFコントローラ付き) |
|---|---|
| 発振周波数 | 13.56 MHz |
| 定格出力 | 500 W |
| 入力容量 | 1.3 kVA |
| 前面操作部 | RF ON/OFF、TUNE DOWN/UP、MATCH DOWN/UP、DEC・INC・PREV・NEXT、表示窓 |
| 表示灯 | POWER、RF ON |
| 製造 | ULVAC, Inc.(日本製) |
※値は前面パネルと銘板の写真から。メーカーの資料は見つからず、入力電圧・出力インピーダンス・許容反射電力・冷却・寸法・質量は未確認。
※銘板の f 欄は 19.5 kHz と記されていて、前面表示の13.56MHzと合わない。この欄の意味は未確認。
※現行の後継はアルバックの RFS-N シリーズ(RFS-1305N)。
出典: 現品の銘板
アルバック Ulvac RFS-1305A3 の装置概要 AIによる記述です
プラズマを使う処理装置で、放電電極に13.56MHzの高周波電力を供給するRF電源。プラズマクリーニングやエッチング、スパッタ、プラズマCVDなどで、ガスを電離させてプラズマをつくるために使われる。前面の表示は13.56MHz 500W RF GENERATORで、銘板の定格出力は500W、入力容量は1.3kVA。
前面にはRF CONTROLLERの操作部があり、RFの入切に加えて、TUNEとMATCHをそれぞれ上げ下げするボタン、設定を選ぶDEC・INC・PREV・NEXTのボタンと表示窓が並ぶ。整合器(マッチングボックス)と組み合わせ、電源から見たインピーダンスを負荷に合わせて反射電力を抑える調整を、この操作部から行う構成とみられる。19インチラックに収める前面パネルの形で、取っ手が付く。
入力電圧・出力インピーダンス・許容反射電力・冷却方式・寸法・質量はメーカーの資料が見つからず、確かめられていない。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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