中古アルバック Ulvac RF電源 RFS-13100L

Name: アルバック Ulvac RF電源 RFS-13100L
Brand: アルバック Ulvac
SKU: Z241011019
Price: 1200000 JPY
Availability: InStock

アルバック Ulvac RFS-13100L 外観写真(1/2) — 外観写真1 / 2

アルバック Ulvac RFS-13100L 銘板写真(2/2) — 銘板写真2 / 2

本体価格(税別、送料別)1,200,000円

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メーカー: アルバック Ulvac
型式: RFS-13100L
機種: RF電源
管理番号: Z241011019
引渡・支払: 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)

RFS-13100L の参考仕様

型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。

発振周波数	13.56 MHz
定格出力	10 kW
電源	AC三相 200/220V 50/60Hz 44A
冷却方式	水冷 8L/min
質量	70 kg
出力インピーダンス	50 Ω
組み合わせ機器	別体のマッチングボックス(整合器)が必要
主な用途	スパッタリング、プラズマCVD、ドライエッチング

※周波数・出力・電源・冷却水量・質量は現品(管理番号Z241011019)の銘板とフロントパネル表記による。アルバックの現行カタログに本型式の記載はない

※整合器(マッチングボックス)は別売。組み合わせる整合器の型式で使えるプロセス条件が変わる

出典: 現品の銘板、showcase.ulvac.co.jp

アルバック Ulvac RFS-13100L の装置概要　AIによる記述です

13.56MHzの高周波電力を作り、真空容器の中の電極に送ってプラズマを立てるためのRF電源。スパッタリング、プラズマCVD、ドライエッチングなどの成膜・加工装置に組み込んで使い、定格出力は10kWと大電力の部類に入る。
出力インピーダンスは50Ωで、プラズマ側のインピーダンスに合わせるマッチングボックス(整合器)を別に組み合わせる必要がある。電源はAC三相200/220V 50/60Hz 44A、冷却は水冷で8L/minの冷却水が要り、質量は70kg。設置には三相の電源と冷却水の配管を用意する。
周波数・出力・電源・冷却水量・質量は現品の銘板とフロントパネルの表記による。アルバックの現行カタログにこの型式の記載はない。整合器は別売で、組み合わせる整合器の型式によって使えるプロセス条件が変わる。

※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。