中古 アルバック Ulvac クライオポンプ CRYO-U10PU

クライオポンプの仕組みと動作原理

クライオポンプは、気体分子を極低温の面に凝縮・吸着させて捕集することで真空を作り出す「捕集型（溜め込み型）」の真空ポンプです。一般的なファンやピストンのように気体を物理的に押し出すポンプとは異なり、気体を凍らせて閉じ込めるという特異な原理で動作します。

冷却には主にヘリウム冷凍機が用いられ、ポンプ内部の冷却板（クライオパネル）を絶対温度に近い極低温まで冷却します。クライオポンプの内部構造は、一般的に2段階の冷却ステージに分かれています。

第1ステージは、約50ケルビンから80ケルビン（約マイナス220℃〜マイナス190℃）に保たれており、主に水蒸気や二酸化炭素といった比較的沸点の高い気体を凝縮・固化させます。

第2ステージは、さらに低い約10ケルビンから15ケルビン（約マイナス263℃〜マイナス258℃）まで冷却され、窒素、酸素、アルゴンなどの気体を固化して捕集します。

また、ヘリウム、水素、ネオンのように極低温でも固化しにくい軽元素の気体に対しては、第2ステージの裏面に配置された活性炭の微細な孔を利用した「物理吸着」によって捕集します。このように、凝縮と吸着という2つの物理現象を組み合わせることで、ほぼすべての種類の気体を排気することが可能です。

クライオポンプの主な特徴

クライオポンプには、他の真空ポンプと比較して以下のような優れた特徴があります。

• 超高真空の実現と圧倒的な排気速度
• クライオポンプは、10のマイナス8乗パスカル（Pa）以下に達するような超高真空（UHV）領域を容易に作り出すことができます。特に、真空装置において残留ガスの大半を占める「水蒸気」に対する排気速度が極めて速い点が大きな強みです。

• クリーンな真空環境の提供
• 真空空間内部に作動油やスライドする可動パーツが存在しないため、油分の逆流による真空槽の汚染が一切ありません。これにより、極めて清浄な真空環境を要求されるプロセスの維持が可能となります。

• 設置の自由度と高い信頼性
• ポンプ機構そのものには回転部や作動部がなく、構造がシンプルであるため故障リスクが低く抑えられています。また、重力の影響を受けにくいため、真空容器に対して垂直、水平、斜めなど、任意の角度で取り付けることができます。

• 定期的な「再生（リジェネレーション）」が必要
• 気体を内部に溜め込む方式であるため、一定量の気体を捕集すると排気性能が低下します。そのため、定期的に冷凍機を停止して温度を上げ、溜まった気体を気化させて外部へ排出する「再生」と呼ばれるメンテナンス作業が必要となります。

クライオポンプの主な用途

超高真空かつクリーンな環境を高速で構築できるクライオポンプは、最先端の産業技術や科学研究の現場で広く活用されています。

• 半導体・電子デバイス製造装置
• スパッタリング装置やイオン注入装置、真空蒸着装置など、半導体製造の核心となる工程で多用されています。微細なゴミや油分を嫌うプロセスにおいて、クリーンかつ高速な排気能力が不可欠となります。

• 光学薄膜・高精度コーティング
• メガネレンズ、カメラレンズ、ディスプレイパネルなどの表面に反射防止膜や機能性多層膜を形成する際、膜の密着性や透明度を阻害する残留水蒸気を迅速に除去する目的で使用されます。

• 宇宙環境模擬試験装置（宇宙チャンバー）
• 人工衛星や宇宙ロケットの部品が、宇宙空間の極低温・高真空環境に耐えられるかを試験する大型の熱真空試験チャンバーの排気系として欠かせない存在です。

• 先端科学研究施設
• 高エネルギー粒子加速器や核融合研究装置、量子技術研究など、極限状態の物理現象を観測・実験するための大型設備において、ベースとなる超高真空を維持するために利用されています。