中古 アルバック Ulvac クライオポンプ CRYO-U12HSP
本体価格(税別、送料別)400,000円
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- メーカー
- アルバック Ulvac
- 型式
- CRYO-U12HSP
- 機種
- クライオポンプ
- 管理番号
- Z24082313
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
CRYO-U12HSP の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 排気速度 | 4,100 L/s |
|---|---|
| 排気速度(水素) | 6,000 L/s |
| 排気速度(アルゴン) | 3,400 L/s |
| 排気速度(水蒸気) | 9,500 L/s |
| 到達圧力 | 10⁻⁷ Pa |
| 最大流量 | 2.0×10³ Pa·L/s |
| 排気容量 | アルゴン4.4×10⁸、水素1.6×10⁶ Pa·L |
| 冷却降下時間 | 90/80 分(50/60Hz) |
| 吸気口フランジ | UVG-300 |
| 質量 | 42 kg |
| 組み合わせる圧縮機 | C30VR(1台) |
| 方式 | ヘリウム冷凍機式クライオポンプ(GMサイクル) |
| メンテナンスインターバル | 16,000 時間 |
| 最大連結台数 | 3 台 |
※メーカー公式(ULVAC CRYOGENICS英語サイト)の現行仕様。旧ロットで数値が異なる可能性がある
出典: ulvac-cryo.com
アルバック Ulvac CRYO-U12HSP の装置概要 AIによる記述です
極低温に冷やした面に気体を凝縮・吸着させて排気する、ヘリウム冷凍機式(GMサイクル)のクライオポンプ。油を使わず、水蒸気や水素まで大きな排気速度で引けるため、スパッタリングや蒸着などの成膜装置、半導体製造装置の高真空排気に使われる。圧縮機C30VRと組み合わせて使う。
排気速度は4,100L/sで、水素6,000L/s、アルゴン3,400L/s、水蒸気9,500L/s。到達圧力は10⁻⁷Pa台、最大流量は2.0×10³Pa·L/s、排気容量はアルゴン4.4×10⁸Pa·L、水素1.6×10⁶Pa·L。冷却降下時間は90/80分(50/60Hz)、吸気口フランジはUVG-300、質量は42kg。メンテナンスインターバルは16,000時間で、最大連結台数は3台。
ためた気体が排気容量に近づくと、温めて気体を出す再生が要る。数値はメーカーの現行仕様で、旧ロットでは値が異なる可能性がある。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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