中古 アルバック Ulvac クライオポンプ CRYO U 8H-U
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- メーカー
- アルバック Ulvac
- 型式
- CRYO U 8H-U
- 機種
- クライオポンプ
- 管理番号
- Z250123016
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
CRYO U 8H-U の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 排気速度 | 1,700 L/s |
|---|---|
| 排気速度(水素) | 2,700 L/s |
| 排気速度(アルゴン) | 1,400 L/s |
| 排気速度(水蒸気) | 4,000 L/s |
| 到達圧力 | 10⁻⁷ Pa |
| 最大流量 | アルゴン1.2×10³、水素2.4×10² Pa·L/s |
| 排気容量 | アルゴン1.0×10⁸、水素1.0×10⁶ Pa·L |
| 冷却降下時間 | 100/90 分(50/60Hz) |
| 吸気口フランジ | UVG-200 |
| 質量 | 20.3 kg |
| 組み合わせる圧縮機 | C10、C10E、C10ES、SC、C2W-U(シングル運転)/C30MV(マルチ運転、3台まで) |
| 方式 | ヘリウム冷凍機式クライオポンプ(GMサイクル) |
| 冷凍機ユニット | R10 |
| 温度計 | 水素蒸気圧温度計のみ(CA熱電対なし) |
※掲載の型式表記「CRYO U 8H-U」はメーカー表記では「CRYO-U8H-U」。取扱説明書にU8Hとは別型式として載っている実在の派生型で、単なる表記揺れではない
※吸気口フランジの行は取説のU8H外形図(UVG-200/6B ANSI/UFC-253)によるもので、U8H-U固有の記載はない(同じ8インチ系のため同一と見ている)
※数値は社内保管のCRYO-Uシリーズ取扱説明書(表1-1 標準仕様)による
出典: メーカー資料
アルバック Ulvac CRYO U 8H-U の装置概要 AIによる記述です
極低温に冷やした面に気体を凝縮・吸着させて排気する、ヘリウム冷凍機式(GMサイクル)のクライオポンプ。油を使わず、水蒸気や水素まで大きな排気速度で引けるため、スパッタリングや蒸着などの成膜装置、半導体製造装置の高真空排気に使われる。冷凍機ユニットはR10で、温度計は水素蒸気圧温度計だけを備え、CA熱電対は持たない。
排気速度は1,700L/sで、水素2,700L/s、アルゴン1,400L/s、水蒸気4,000L/s。到達圧力は10⁻⁷Pa、最大流量はアルゴン1.2×10³・水素2.4×10²Pa·L/s、排気容量はアルゴン1.0×10⁸・水素1.0×10⁶Pa·L。冷却降下時間は100/90分(50/60Hz)、吸気口フランジはUVG-200、質量は20.3kg。圧縮機はC10・C10E・C10ES・SC・C2W-Uと組んで1台で運転するほか、C30MVでは3台までのマルチ運転ができる。
U8Hとは別型式として取扱説明書に載る派生型で、吸気口フランジはU8Hの外形図による値。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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