中古 アルバック Ulvac クライオポンプ U16P
本体価格(税別、送料別)600,000円
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- メーカー
- アルバック Ulvac
- 型式
- U16P
- 機種
- クライオポンプ
- 管理番号
- Z26070101
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
U16P の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 排気速度(窒素) | 5,000 L/sec |
|---|---|
| 排気速度(水素) | 10,000 L/sec |
| 排気速度(アルゴン) | 4,200 L/sec |
| 排気速度(水蒸気) | 16,000 L/sec |
| 到達圧力 | 10⁻⁷(10⁻⁹Torr) Pa |
| 最大流量 | アルゴン1.6×10³、水素4.5×10² Pa·L/sec |
| 排気容量 | アルゴン4.3×10⁸、水素2.4×10⁶ Pa·L |
| 冷却降下時間 | 110(50Hz)/100(60Hz) 分 |
| 最高ベーク温度 | 70 ℃ |
| 吸気口フランジ | UVG-400 |
| 外形寸法 | φ520×H656 mm |
| 質量 | 61.0 kg |
| 組み合わせる圧縮機 | C30を1台、またはC20Aを1台(ポンプ1台に対して) |
| メンテナンスインターバル | 16,000 時間 |
※数値は社内保管のアルバック・クライオ CRYO-U16P 取扱説明書(表1-1 標準仕様、ポンプ1台当たり)による
※運転にはヘリウム圧縮機とフレキシブルホース、冷凍機コントロールが別途必要
出典: メーカー資料、mono.ipros.com
アルバック Ulvac U16P の装置概要 AIによる記述です
極低温に冷却した面に気体分子を凝縮・吸着させて排気する、ため込み式の高真空ポンプです。油を使わないため油の逆流が無く、水蒸気と水素を大きな排気速度で排気できることから、スパッタ装置や蒸着装置など成膜装置のメインポンプとして使われます。
吸気口はUVG-400フランジで、窒素に対する排気速度は5,000 L/sec、水蒸気では16,000 L/secです。到達圧力は10⁻⁷ Pa台で、冷却開始から使用可能になるまでの冷却降下時間は約100〜110分です。
ため込み式のため、ガスを一定量ため込んだら昇温して放出する再生運転が必要です。運転には冷凍機を駆動するヘリウム圧縮機(C30またはC20A)、フレキシブルホース、冷凍機コントロールが別途必要で、ポンプ単体では動作しません。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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