中古 アネルバ ANELVA クライオポンプ CAP-80MarkⅡ
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- 支払い・納期・返品について(よくある質問)
- メーカー
- アネルバ ANELVA
- 型式
- CAP-80MarkⅡ
- 機種
- クライオポンプ
- 管理番号
- Z23032020
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
CAP-80MarkⅡ の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 排気速度 | 1,600 L/s |
|---|---|
| 排気速度(アルゴン) | 1,300 L/s |
| 排気速度(水素) | 1,000 L/s |
| 排気速度(水蒸気) | 4,000 L/s |
| 最大排気流量(アルゴン) | 750 SCM(取説表記) |
| 最大ガス瞬間許容量 | 18 Pa·m³ |
| 排気容量 | アルゴン50,000、水素700 Pa·m³ |
| 冷却降下時間 | 65/55 分(50/60Hz) |
| 最低到達温度 | 約10〜15 K |
| 最高ベーク温度 | 70 ℃ |
| 方式 | ヘリウム冷凍機式クライオポンプ(GMサイクル2段) |
| 質量 | 21.5 kg |
| 組み合わせる圧縮機 | CRC-420MKII(AC200V三相50/60Hz、消費電力定常2.2kW(50Hz)、水冷180L/h以上、質量100kg) |
| アクセサリーポート | NW16 |
| 取付方向 | 任意 |
※数値は社内保管の日電アネルバ CRYO ACE(CAP-80MKII/CAP-100/CAP-121)取扱説明書(2章 仕様)による
※到達圧力は取説の仕様表に記載がない(最低到達温度のみ)
※吸気口フランジは取説に「JIS、ASA、ICFの各種がある」とだけあり、呼び径の記載がないため行にしていない。実物のフランジで確認
※掲載表記「CAP-80MarkⅡ」は取説では「CAP-80MKII」
出典: メーカー資料
アネルバ ANELVA CAP-80MarkⅡ の装置概要 AIによる記述です
極低温に冷やした面に気体を凝縮・吸着させて排気する、ヘリウム冷凍機式のクライオポンプ。2段のGMサイクル冷凍機で冷やし、油を使わずに水蒸気などを大きな排気速度で引けるため、スパッタリングや蒸着などの成膜装置、半導体製造装置の高真空排気に使われる。取付方向は任意。
排気速度は1,600L/sで、アルゴン1,300L/s、水素1,000L/s、水蒸気4,000L/s。最大排気流量はアルゴンで750SCM(取説の表記)、最大ガス瞬間許容量は18Pa·m³、排気容量はアルゴン50,000Pa·m³・水素700Pa·m³。冷却降下時間は65/55分(50/60Hz)、最低到達温度は約10〜15K、最高ベーク温度は70℃。アクセサリーポートはNW16、質量は21.5kg。組み合わせる圧縮機はCRC-420MKIIで、AC200V三相、消費電力は定常2.2kW(50Hz)、水冷で180L/h以上の冷却水が要る。
到達圧力は取説の仕様表に記載が無い。吸気口フランジはJIS・ASA・ICFの各種があり、呼び径は現品で確かめる必要がある。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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