中古 アルバック Ulvac クライオポンプ CRYO-U8H
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- メーカー
- アルバック Ulvac
- 型式
- CRYO-U8H
- 機種
- クライオポンプ
- 管理番号
- Z23112302
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
CRYO-U8H の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 排気速度 | 1,700 L/s |
|---|---|
| 排気速度(水素) | 2,700 L/s |
| 排気速度(アルゴン) | 1,400 L/s |
| 排気速度(水蒸気) | 4,000 L/s |
| 到達圧力 | 10⁻⁷ Pa |
| 最大流量 | アルゴン1.2×10³、水素2.4×10² Pa·L/s |
| 排気容量 | アルゴン1.0×10⁸、水素1.0×10⁶ Pa·L |
| 冷却降下時間 | 100/90 分(50/60Hz) |
| 吸気口フランジ | UVG-200 |
| 質量 | 20.8 kg |
| 組み合わせる圧縮機 | C10、C10E、C10ES、SC、C2W-U(シングル運転)/C30MV(マルチ運転、3台まで) |
| 方式 | ヘリウム冷凍機式クライオポンプ(GMサイクル) |
| 冷凍機ユニット | R10 |
| 外形寸法 | 全高523.8、吸気フランジ外径300(UVG-200時) mm |
| メンテナンスインターバル | 16,000 時間 |
※数値は社内保管のCRYO-Uシリーズ取扱説明書(表1-1 標準仕様)による
※吸気口フランジはUVG-200のほか6B ANSI、UFC-253(ICF-253)仕様がある(フランジ外径はUVG-200:300、6B ANSI:279、UFC-253:253.2mm)
※メーカー現行サイトでは質量25kg、組合せ圧縮機C10/C10AT/C10ESとなっており、取説(20.8kg)と異なる。年式により違う可能性
出典: メーカー資料、ulvac-cryo.com
アルバック Ulvac CRYO-U8H の装置概要 AIによる記述です
極低温に冷やした面に気体を凝縮・吸着させて排気する、ヘリウム冷凍機式(GMサイクル)のクライオポンプ。油を使わずに水蒸気や水素まで大きな排気速度で引けるため、スパッタリングや蒸着などの成膜装置、半導体製造装置の高真空排気に使われる。冷凍機ユニットはR10。
排気速度は1,700L/sで、水素2,700L/s、アルゴン1,400L/s、水蒸気4,000L/s。到達圧力は10⁻⁷Pa、最大流量はアルゴン1.2×10³、水素2.4×10²Pa·L/s、排気容量はアルゴン1.0×10⁸、水素1.0×10⁶Pa·L。冷却降下時間は100/90分(50/60Hz)。吸気口フランジはUVG-200で、6B ANSIとUFC-253の仕様もある。全高は523.8mm、質量は20.8kg、メンテナンスインターバルは16,000時間。圧縮機はC10、C10E、C10ES、SC、C2W-Uで1台を運転し、C30MVなら3台まで運転できる。
数値は取扱説明書の値で、メーカーの現行サイトでは質量25kg、組合せ圧縮機C10/C10AT/C10ESとなっており、年式で違う可能性がある。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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