中古 Nor-Cal アングルバルブ ESV-0752-CF

本装置は、真空配管系においてガスフローの遮断やコンダクタンスの調整に使用される手動操作式のL字型真空バルブです。接続部には外径1.33インチ（DN16相当）のCF（コンフラット）フランジを採用しており、銅ガスケットを用いたメタルシール接続により、優れた気密性と超高真空（UHV）環境への適合性を備えています。本体のポートサイズ（チューブ外径）は3/4インチ（約19.05 mm）に設計されており、本体材質には耐食性と放出ガス低減に優れた304ステンレス鋼が使用されています。

可動部の真空軸シールには、AM-350ステンレス鋼製のエッジ溶接ベローズを採用しており、大気側からの漏れを物理的に遮断する構造となっています。シート（弁座）およびボンネット部のシールには、一般的に耐熱・耐薬品性に優れるフッ素ゴム（Viton）Oリングが用いられており、大気圧から1×10^-9 Torr（約1.3×10^-7 Pa）帯までの幅広い圧力範囲で安定した性能を発揮します。手動ノブを回転させることでバルブの開閉を行うため、電源や圧縮空気などのユーティリティを必要とせず、研究開発用の真空チャンバーや分析装置のサブ配管などで柔軟に配置・運用することが可能です。