中古 アネルバ ANELVA DC電源 PDC-028

スパッタ装置のターゲットに負の直流電圧をかけてプラズマを立てる、スパッタ用のDC電源。高周波スイッチング方式で、放電中に起きる異常放電(アーク)を消す機能を持ち、アークによる膜の欠陥やターゲットの傷みを抑える。
定格出力電圧は700V(平均値、負極性)、定格出力電流は5.56A、最大定格出力電力は2.5kW。最大無負荷電圧は1200V(出荷時は1000V)。制御モードは定電流・定電圧・定電力から選ぶ。交流入力は三相180〜242V 50/60Hzで、受電容量は3.3kVA以上が要る。力率・効率はともに約90%(定格の入出力条件)、冷却は前面から吸気する強制風冷。瞬時の停電には10msまで出力を保つ。
外部制御として、非常停止(J721)、リモートコントロール(J719)、コントローラの外部設置(J712、最長5m)、積算電力の出力(J713)のコネクタを持つ。値は社内保管の取扱説明書の総合仕様による。