中古 アドバンスドエナジー AE DC電源（MDX-10K） 3152012-041AB
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- メーカー
- アドバンスドエナジー AE
- 型式
- 3152012-041AB
- 機種
- DC電源
- 仕様
- AMAT/ENDURA用
- 管理番号
- Z190630066
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
3152012-041AB の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 種別 | DCマグネトロンスパッタ用電源(MDXシリーズ) |
|---|---|
| 出力電力 | 10 kW |
| 出力電圧 | 0〜1000 V |
| 出力電流 | 0〜20 A |
| 出力電圧・電流(STD-Zタイプ、タップ切替) | TAP#1 0〜600V/0〜20A、#2 0〜800V/0〜16A、#3 0〜1000V/0〜12.5A |
| 入力電源 | 三相208VAC±10% 50/60Hz(40A)+単相115VAC±10% |
| 出力リップル | 2% RMS(リップル周波数100kHz) |
| 制御 | フロントパネル、ユーザーコネクタ(アナログ)、ホストRS-232C |
| タイマー | ランタイマー0.01〜99.00分、シャットダウンセットポイントタイマー |
※出力電圧・出力電流は STD-Z タイプのタップ(TAP#1〜#3)の最大値で、同時には出せない(1000V側では12.5A、20A側では600Vまで)
※取説の表では Low-Z タイプは最大25A、High-Z タイプは最大1250Vで、インピーダンスタイプによって上限が変わる
※数値は社内保管のMDX-10K取扱説明書(日本語、rev D)の主な仕様による。外形寸法・質量は取説の仕様表に無い
※M/N 3152012-041ABはAEの部品番号で、入力電圧・インターフェース・タップ仕様の組み合わせを表す。掲載品はAMAT Endura用
※ファーストランプ仕様(立ち上がり50ms〜1s)の有無は個体による
出典: メーカー資料
アドバンスドエナジー AE 3152012-041AB の装置概要 AIによる記述です
スパッタリング装置でターゲットに直流の電圧をかけ、マグネトロン放電を保つための直流電源。MDXシリーズの出力10kWの機種で、掲載品はAMAT Endura用の構成にあたり、金属膜などを成膜するDCマグネトロンスパッタに使われる。
出力は0〜1000V・0〜20A。標準のSTD-Zタイプは出力タップを切り替えて、TAP#1で0〜600V/0〜20A、#2で0〜800V/0〜16A、#3で0〜1000V/0〜12.5Aを出し、電圧と電流の最大値は同時には出せない。出力リップルは2% RMS(リップル周波数100kHz)。入力電源は三相208VAC±10% 50/60Hz(40A)と単相115VAC±10%。操作はフロントパネル、アナログのユーザーコネクタ、ホストのRS-232Cから行え、0.01〜99.00分のランタイマーとシャットダウンセットポイントタイマーを持つ。
Low-Zタイプは最大25A、High-Zタイプは最大1250Vと、インピーダンスタイプで上限が変わる。型式の数字は入力電圧やインターフェース、タップ仕様の組み合わせを表す部品番号。外形寸法・質量は確かめられていない。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
