中古 アルバック Ulvac ピラニーゲージ SPU

本装置は、気体の熱伝導率が圧力に依存する性質を利用して真空度を測定する、熱伝導式真空計（ピラニ真空計）です。内部の測定子に張られた金属細線（フィラメント）に電流を流して加熱し、周囲の気体分子が奪う熱量の変化を電気抵抗の変化として検出することで、大気圧付近から中真空領域までの連続的な圧力測定を行います。

真空装置の粗引きラインの圧力監視、チャンバーの真空到達確認、およびバルブ開閉のインターロック制御など、真空プロセスの自動化において極めて重要な役割を担います。フィラメント材質には耐食性と長期安定性に優れた白金（Pt）等が採用されており、半導体製造や理化学実験、一般産業用真空装置など幅広い環境下で使用可能です。

また、本シリーズは同一の公式仕様ページ内で、測定範囲やセットポイント（接点出力）機能の有無、接続フランジ形状が異なる複数の派生モデルが統合して紹介されています。そのため、上位の制御機器（PLCなど）との接続を前提としたアナログ電圧出力の仕様や、特定圧力に達した際に信号を出すリレー接点の数などは、実際の枝番や運用要件によって異なります。運用時は接続先のシステムに適合した制御が行えるよう設計されています。