中古 アルバック Ulvac ピラニーゲージ SP1

本装置は、気体の熱伝導率が圧力に依存する特性を利用して真空度を測定する熱伝導式真空計（ピラニーゲージ）です。低真空から中真空領域、および大気圧付近までの幅広い圧力範囲を連続的に監視することが可能であり、真空ポンプの粗引き排気ラインのモニターや、各種真空プロセスの自動制御用・インターロック用センサーとして広く導入されています。

センサー内部に配置されたフィラメント（極細線）が自己加熱し、周囲の気体分子によって奪われる放熱量の変化を電気的な信号として検出・変換する仕組みを採用しています。大気圧付近では気体の対流による影響を受けやすくなりますが、本製品はセンサー構造の最適化や温度補償回路により、広い測定帯域にわたって安定した計測精度を維持します。また、耐食性や耐振動性に優れた堅牢な設計となっており、半導体製造や電子部品製造、各種研究開発の真空装置など、信頼性が求められる環境下でも長期間にわたって正確な真空度モニタリングを実現します。

外部の制御機器との連携も考慮されており、アナログ信号出力を介して真空装置の制御システム（PLCなど）と容易に連動させることが可能です。コンパクトな設計により、既存の装置や限られたスペースの配管レイアウトへの組み込みにも柔軟に対応できる実用的な真空計測器です。