中古 アルバック Ulvac ピラニーゲージ SP1

本製品は、真空装置の粗引き排気系や低・中真空領域の圧力測定に広く用いられる熱伝導式真空計（ピラニー真空計）のセンサーヘッド（測定子）です。気体の熱伝導率が空間の圧力に依存する原理を応用しており、大気圧付近から低真空（一般的に0.4 Pa～3000 Pa程度）までの幅広い圧力範囲を連続的かつ正確に測定することが可能です。

最大の特長として、センサー内部のフィラメント素材に白金（Pt）を採用している点が挙げられます。一般的なタングステンフィラメントと比較して、酸化や腐食性ガスに対する耐性が高く、長期間にわたり安定した測定精度を維持できる設計となっています。また、外装には硬質ガラス管を採用しているため、内部のフィラメント状態を直接目視で確認することができ、コンタミネーション（汚れ）の付着や断線などの不具合を早期に発見するのに寄与します。

配管接続部の外径寸法はφ15 mmで設計されています。対応するOリングや専用の真空継手を用いることで、実験用途のガラス製真空ラインから、産業用真空装置の金属配管まで容易に組み込むことができます。半導体製造装置のロードロック室、各種真空炉の粗引きライン、理化学実験用の排気システムなど、多様な環境下での真空度モニタリングに必要不可欠なコンポーネントです。