中古 アルバック Ulvac ピラニーゲージ SPU
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- メーカー
- アルバック Ulvac
- 型式
- SPU
- 機種
- ピラニーゲージ
- 管理番号
- Z20051114
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
SPU の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 測定原理 | 定温度型ピラニ真空計（熱伝導式） |
|---|---|
| 測定圧力範囲 | 0.4 Pa ～ 3000 Pa |
| 出力信号 | アナログ電圧出力 DC 0 V ～ 10 V（非線形出力） |
| 0.4 Pa ～ 10 Pa帯 | 読み値の±20%以内 |
| 10 Pa ～ 1000 Pa帯 | 読み値の±10%以内 |
| 再現性 | ±2% |
| 供給電源 | DC 24 V（許容変動幅 ±10%） |
| 消費電力 | 最大 約 2 W |
| 接続フランジ仕様 | NW16 または NW25（公式ページ上の複数型式展開に基づく。現物の接続口径をご確認ください） |
| フィラメント材質 | 白金（Pt） |
| 使用周囲温度範囲 | 10 ℃ ～ 50 ℃ |
| 使用周囲湿度範囲 | 80 %RH以下（結露なきこと） |
| 質量 | 約 0.2 kg（NW16フランジ仕様の場合） |
※本仕様は公式ページの同シリーズ製品群から当該モデルの基本数値を抽出した参考情報です。実際のフランジ径、設定値リレー出力（セットポイント）の有無などについては、現物の銘板情報および外観をご確認ください。
アルバック Ulvac SPU の装置概要 AIによる記述です
本装置は、気体の熱伝導を利用して低・中真空領域の圧力を測定するピラニー真空計です。センサ部と信号処理回路が一体化されたトランスデューサ型構造を採用しており、別途大型の専用コントローラーを設けることなく、省スペースで真空ラインへの組み込みが可能です。主に半導体製造装置のロードロック室、真空排気システムの粗引きラインモニタ、および各種真空装置の圧力監視など、幅広い産業用途で利用されています。
公式ページでは接続フランジ径や出力インターフェースの異なる複数の派生モデルが同一ページにラインナップされていますが、本モデルは標準的なアナログ電圧出力を備え、PLCなどの上位制御機器と直接連携できる設計となっています。独自の温度補償回路を搭載しており、周囲温度の変動に対する影響を最小限に抑え、0.4 Paから3000 Paまでの広帯域において安定した連続モニタリングを実現します。また、耐環境性にも優れ、長期間の使用においても高い再現性と信頼性を維持します。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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