中古 アルバック Ulvac ピラニーゲージ SP1

本装置は、気体の熱伝導率が圧力に依存する物理現象を利用して真空度を連続的に測定する熱伝導式真空計（ピラニ真空計）です。大気圧から低・中真空領域の測定に優れており、真空排気システムにおける粗引き工程の圧力モニタリングや、真空炉、成膜装置、乾燥プロセスなどの圧力管理において広く採用されています。

動作原理として、センサー内部にある加熱されたフィラメントから気体分子が奪う熱量を電気信号に変換することで圧力を算出します。公式のシリーズラインナップには制御用の接点数（セットポイント数）が異なる複数の仕様が存在しますが、本仕様は任意の圧力値で動作するリレー接点を1点備えたモデルです。これにより、指定した圧力（例：1.0×10² Paなど）に達した際に、外部のバルブ切替や真空ポンプの起動など、システム連動のインターロック制御を容易に構築できます。

なお、測定対象のガス種（アルゴンやヘリウムなど）によって熱伝導率が異なるため、空気や窒素以外のガスを測定する場合は表示圧力と実圧力に差異が生じ、適切な感度補正が必要です。中古機器として運用する際は、センサー内部のフィラメントへの経年劣化やプロセスガス・油分の付着が測定精度に直接影響を及ぼすため、運用前のゼロ点・大気圧調整、または必要に応じた測定子の状態確認を行うことが推奨されます。