中古 アネルバ ANELVA 真空計(分圧真空計) QIG-066
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- メーカー
- アネルバ ANELVA
- 型式
- QIG-066
- 機種
- 真空計
- 仕様
- W210 D370 H100
- 管理番号
- Z21080369
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| 現品前面の型式表示 | QIG-066(ANELVA PARTIAL PRESSURE GAUGE) |
|---|
QIG-066 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 測定方式 | 四重極質量分析計(分圧真空計) |
|---|---|
| 測定モード | PRESS／LEAK／CHART／SIM／RMT |
| ガス種ダイレクトキー | H2、He、CH4、H2O、N2、CO、O2、Ar、CO2、HC ほか |
| 表示単位 | A(イオン電流)／Pa／Torr／% |
| 設定点数 | 2点(SP1／SP2) |
| 形態 | ラックマウント型コントローラ |
※上記は同方式における一般的な参考仕様を含みます。中古機械の性質上、付属するセンサーヘッドの有無・種類やオプション構成により、実際の測定質量範囲や最小可検分圧が異なる場合がありますので、現品の状態および付属品をご確認ください。
出典: 現品の銘板
アネルバ ANELVA QIG-066 の装置概要 AIによる記述です
本装置は、真空槽内の残留ガス成分やプロセスガス成分の定性・定量分析を行うための四重極型分圧真空計（残留ガス分析計）です。真空チャンバー内の気体分子を熱陰極からの電子衝撃によってイオン化し、四重極（マスフィルター）部に直流電圧と高周波電圧を印加することで、特定の質量電荷比（m/z）を持つイオンのみを分離して検出する仕組みを採用しています。
主な用途として、真空排気プロセスの立ち上げ時におけるアウトガス成分（水、窒素、酸素、炭化水素など）のモニタリング、真空装置の微小なリーク箇所の特定（ヘリウム等のトレースガスを用いたリークテスト）、成膜やエッチングなどの真空プロセス中のガス成分監視などに活用されます。全圧真空計では把握しきれない各ガス成分の分圧挙動を可視化することで、真空環境の最適化やトラブルシューティングに貢献します。
コントロールユニット部は幅210mm、奥行き370mm、高さ100mmというコンパクトな筐体サイズに設計されており、既存の制御ラックや卓上など、限られたスペースへの組み込みや設置が容易です。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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