中古 アルバック Ulvac 電離真空計 GI-TL3

本装置は、高真空領域の圧力測定に用いられる熱陰極型の電離真空計です。主に真空排気システムや真空蒸着装置、スパッタリング装置、真空炉などの産業用および研究開発用の真空装置において、高精度な圧力監視を行うために利用されます。

熱陰極電離真空計は、センサー内部のフィラメントから放出された熱電子を利用して、真空中の残留ガス分子をイオン化し、その際に発生するイオン電流を測定することで圧力を算出する仕組みを採用しています。ペニング真空計などの冷陰極型と比較して、測定精度が高く、放電遅れがないため、高真空領域での安定した連続測定に優れているのが特徴です。

本品にはコントローラ本体に加えて、圧力検出を行うセンサー（測定子）および本体とセンサーを繋ぐ専用ケーブルが付属しています。周辺部品が揃っているため、既存設備の更新や保守用の予備機としてスムーズな組み込みが可能です。シリーズ内で複数の測定範囲を持つモデルが展開される中、本機は主に中真空から高真空領域における精密な圧力管理に特化しており、厳格な真空度が求められる製造プロセスや実験環境に貢献します。