中古 エドワーズ Edwards ピラニー真空計 APG-M-NW16

本装置は、真空排気系や各種真空プロセスにおける圧力測定に用いられるアクティブ型のピラニー真空計です。熱伝導を利用して気体の圧力を測定する仕組みであり、センサー部と信号処理回路がコンパクトに一体化されている点が特徴です。専用の外部ディスプレイやコントローラに依存することなく、供給電源を接続するだけで直接アナログ電圧信号を出力することが可能です。

測定範囲は1.0×10^-3 mbarから大気圧（1000 mbar）までをカバーしており、低真空から中真空領域のモニタリングに適しています。出力される電圧信号は圧力に対して対数関数的に変化するため、幅広い圧力変動を単一の信号出力で連続的に読み取ることができます。真空接続部はNW16（KF16）規格のフランジを採用しており、一般的な真空配管やチャンバーへクランプを用いて容易に取り付けることができます。

センサーと駆動回路が一体型であるため外部ノイズの影響を受けにくく、PLCや各種データロガーなどの制御機器と直接連携させやすい設計となっています。半導体製造プロセス、分析機器、真空炉、研究開発用チャンバーなどにおいて、粗引きラインの圧力確認やバックグラウンド圧力の監視に広く利用されている測定器です。