中古 インフィコン Inficon 真空計 VGC103

高真空から大気圧までの幅広い圧力帯を正確に測定・管理するために設計された真空計用のコントローラーです。ピラニ真空計、コールドカソード真空計、イオン真空計などの各種アクティブまたはパッシブゲージを接続することで、センサからの信号を解析し、リアルタイムの圧力値をデジタル表示します。測定範囲は接続するゲージの仕様に依存しますが、適切なセンサの組み合わせにより、超高真空領域（約1×10^-8 Pa）から大気圧（約1×10^5 Pa）までのシームレスな圧力モニタリングを実現します。

本体前面には視認性の高いディスプレイを備えており、複数チャンネル入力に対応した構成では各測定ポートの圧力を一元管理できます。圧力単位はPa、mbar、Torrなどから選択可能で、プロセスの要求に合わせた設定変更が直感的に行えます。

外部機器との連携機能として、測定圧力に比例した0〜10Vのアナログ電圧出力、プロセス制御用のリレー接点出力（セットポイント）、およびRS232CやRS485などのデジタル通信インターフェースを搭載しています。これにより、半導体製造装置、真空成膜装置（スパッタリング、蒸着等）、各種分析機器や研究開発チャンバーなど、厳密な真空制御と自動化が求められる産業用システムへ容易に組み込むことが可能です。