中古 アネルバ ANELVA 真空計(分圧真空計) QIG-066

本装置は、高真空および超高真空領域におけるチャンバー内の残留ガス成分を分析し、各ガスの分圧状態を測定するための四重極型分圧真空計（コントロールユニット）です。主な用途として、真空排気プロセスにおける到達真空度の確認、チャンバー内の水分や炭化水素といった不純物ガスの特定、さらにはヘリウム（質量数4）等を用いた真空リークテスト（漏れ検査）に活用されます。

測定原理には四重極質量分析法を採用しており、センサー部（測定子）と接続することで、イオン化されたガス分子を質量電荷比（m/z）ごとに分離・検出します。本ユニットはセンサーへの電源供給、高周波電圧の印加、および検出された微小電流信号の増幅・処理を担う中核機器となります。

外形寸法は幅210mm、奥行き370mm、高さ100mmのコンパクトな設計となっており、19インチハーフラックサイズに近い形状のため、既存の真空装置の制御盤や限られたスペースへの組み込みにも適しています。半導体製造装置や各種真空成膜装置（スパッタリング、真空蒸着、CVDなど）、および研究開発用真空排気システムの保守・管理・プロセスモニタリングに有用な分析機器です。