中古 アネルバ ANELVA 真空計(分圧真空計) QIG-066

本装置は、真空チャンバー内の残留ガス成分やプロセスガスの分圧を測定・解析するための四重極形分圧真空計（残留ガス分析計）のコントロールユニットです。真空系に接続された専用の分析管（センサーヘッド）を制御し、フィラメントからの熱電子（標準的なイオン化エネルギー：約70 eV）による電子衝撃イオン化法を用いてガス分子をイオン化します。その後、四重極マスフィルターに印加する高周波電圧と直流電圧を精密に制御することで、特定の質量電荷比（m/z）を持つイオンのみを分離・検出する仕組みです。

主に10^-2 Paから10^-9 Pa台の高真空・超高真空領域におけるガス環境の評価に使用されます。真空チャンバーの排気過程における水分（m/z=18）やハイドロカーボンなどの残留ガス分析、ベーキングの到達度確認に機能します。また、質量数4（ヘリウム）に着目した真空リークの検出や、スパッタリング等のプロセス中における不純物ガスのモニタリングなど、真空の質を定量的に把握する上で重要な役割を担います。

本体の外形寸法は幅210 mm、奥行き370 mm、高さ100 mmとコンパクトなハーフラック相当の設計となっており、各種真空装置の制御盤や限られたスペースへの組み込みが容易です。なお、本ユニットは電源および制御を担う構成要素であり、実際の測定には適合する四重極質量分析管と専用ケーブルを組み合わせてシステムを構築する必要があります。