中古 Tylan マスフローメーター FM-860
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- Tylan
- 型式
- FM-860
- 機種
- マスフローメーター
- 仕様
- ガスNH3 流量500SCCM
W155 D33 H175 - 管理番号
- Z21080358
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | NH3 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 500 SCCM |
| 外形寸法 | W155 D33 H175 mm |
| 現品銘板の型式 | FM-860(TYLAN MASS FLOW METER / NIPPON TYLAN CORP.) |
| 校正ガス(現品) | SiH4(モノシラン) |
| 流量(フルスケール、現品) | 300 SCCM |
FM-860 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 種別 | マスフローメータ(流量計。制御バルブなし) |
|---|---|
| 流量出力 | 0〜5VDC(0〜2.5mA) |
| 電源 | ±15VDC |
| 測定方式 | 熱式質量流量センサ |
出典: 現品の銘板
Tylan FM-860 の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体製造プロセスや研究開発、各種産業プロセスにおいて、ガスの質量流量を精密に測定・制御する熱式マスフローコントローラーです。腐食性ガスであるアンモニア（NH3）に対応した設計となっており、最大500 SCCMまでの流量を正確にコントロールします。
測定方式には熱式質量流量センサーを採用しており、周囲の温度や供給圧力の変動に左右されず、常に安定したガス流量の供給が可能です。また、応答性に優れた内部バルブを搭載し、設定値への迅速かつスムーズな流量追従を実現します。アナログ信号（0〜5 VDC）による流量設定および出力に対応しているため、既存のアナログ制御システムや計測機器との親和性が高く、各種実験装置や製造ラインへの組み込み、および旧型機器からのリプレイス用途に適しています。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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