中古 Tylan マスフローメーター FM-860
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- Tylan
- 型式
- FM-860
- 機種
- マスフローメーター
- 仕様
- ガスSiN2Cl2 流量100SCCM
W155 D33 H175 - 管理番号
- Z21080361
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| 現品銘板の型式 | FM-860(TYLAN MASS FLOW METER / NIPPON TYLAN CORP.) |
|---|---|
| 校正ガス(現品) | SiH4(モノシラン) |
| 流量(フルスケール、現品) | 300 SCCM |
FM-860 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 種別 | マスフローメータ(流量計。制御バルブなし) |
|---|---|
| 流量出力 | 0〜5VDC(0〜2.5mA) |
| 電源 | ±15VDC |
| 測定方式 | 熱式質量流量センサ |
出典: 現品の銘板
Tylan FM-860 の装置概要 AIによる記述です
半導体製造プロセスや各種薄膜形成装置などで広く使用されている、熱式流量測定技術を採用したアナログ方式のマスフローコントローラー（MFC）です。
本装置は、特殊ガスであるSiN2Cl2（最大流量100 SCCM）の流量制御に対応しており、精密な成膜プロセスにおける微小流量の制御に適しています。
外部制御信号には標準的な0〜5 VDCのアナログ入出力を使用し、駆動電源には±15 VDCを必要とします。応答性に優れ、設定値に対して迅速かつ安定したガス流量の追従性を発揮します。
堅牢な金属筐体を採用しており、経時変化が少なく信頼性の高いガス供給システムを構築できます。アナログ制御システムを搭載した既存設備への組み込みや、製造ラインのメンテナンス・予備パーツとして有用な機器です。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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