中古 Tylan マスフローメーター FM-861

本装置は、気体の質量流量を高精度に計測・管理するための熱式マスフローデバイスです。周囲の温度や供給圧力の変動に影響を受けず、気体の質量流量を直接かつ安定して検出できる熱式センサ技術を搭載しています。

本個体は酸素（O2）ガス用に調整されており、最大20 SLM（Standard Liters per Minute）までの大流量測定に対応します。主に半導体製造ラインや研究開発におけるプロセスガスの流量モニタリング、混合ガスシステムなどの高精度な流量管理に適しています。アナログインターフェース（0-5 VDC）による制御および出力に対応しており、既存の監視システムや各種制御機器への組み込みがスムーズに行えます。