中古 Tylan マスフローメーター FM-860

本装置は、半導体製造プロセスなどで広く使用されている熱式マスフローコントローラー（MFC）です。特にジクロロシラン（SiH2Cl2）のような反応性および腐食性の高いプロセスガスに対応しており、最大流量100 SCCMまでの極めて精密な流量制御を実現します。熱式センサーと高性能な電磁式コントロールバルブを内蔵し、外部からの0〜5 VDC信号に応じて、設定値に対する正確かつ迅速なガス流量の調整を行います。外形寸法はW155mm、D33mm、H175mmとコンパクトに設計されており、既存のガスパネルや配管システムへの組み込み、またはリプレイスに柔軟に対応します。堅牢な内部構造により経年変化が少なく、長期にわたり安定した再現性を維持する信頼性の高い測定・制御機器です。