中古堀場エステック Stec マスフローメーター SEF-410-UC

Name: 堀場エステック Stec マスフローメーター SEF-410-UC
Brand: 堀場エステック Stec
SKU: Z230331034
Price: 30000 JPY
Availability: InStock

堀場エステック Stec SEF-410-UC 外観写真(1/2) — 外観写真1 / 2

堀場エステック Stec SEF-410-UC 銘板写真(2/2) — 銘板写真2 / 2

本体価格(税別、送料別)30,000円

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メーカー: 堀場エステック Stec
型式: SEF-410-UC
機種: マスフローメーター
仕様: ガス:SiH4　流量:500SCCM
管理番号: Z230331034
引渡・支払: 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)

仕様(この商品の仕様欄・銘板から)

ガス種	SiH4
流量(フルスケール)	500 SCCM

堀場エステック Stec SEF-410-UC の装置概要　AIによる記述です

本装置は、半導体製造プロセスや薄膜形成装置などで広く使用される、特殊材料ガスであるシラン（SiH4）の精密な流量制御に特化したマスフローコントローラーです。ウルトラクリーン（UC）仕様が施されており、接ガス部にはガス放出や腐食を極限まで抑える処理がなされた金属素材を採用し、メタルシール構造にすることで高い気密性を確保しています。これにより、シランガスのような自己燃焼性を持つ危険なガスであっても、外部漏洩を防ぎながら安全かつ純度を維持した供給が可能です。駆動部には応答性に優れたピエゾアクチュエータバルブを搭載しており、設定値への迅速な追従性と安定した流量制御を実現します。フルスケール500SCCMの範囲内において、プロセスの要求に応じた微小な流量変化から定格流量まで、正確かつ再現性の高い制御プロセスを提供します。

※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。