中古 Tylan マスフローメーター FM-860

本装置は、半導体製造プロセスや各種理化学実験において、気体の質量流量を精密に測定・制御するための熱式マスフローコントローラーです。制御対象ガスとして腐食性を有するアンモニア（NH3）に対応しており、最大流量500 SCCMの領域において安定した流量制御を実現します。

動作原理としては、センサチューブに流れるガス質量に応じた熱移動を検出する熱式センサと、内蔵された電磁式コントロールバルブ、制御回路を組み合わせることで、一次側の圧力変動に左右されない正確なガス供給を可能にします。外部からの0〜5 VDCのアナログ電圧信号による流量設定に対応し、現在の流量を同等の0〜5 VDCの電圧信号として出力（モニター）します。長年にわたり産業用途で広く採用されてきた信頼性の高いプラットフォームをベースにしており、外寸は幅155mm、奥行33mm、高さ175mmのコンパクトな設計です。既存システムや実験装置の保守・交換用コンポーネントとして適しています。