中古 アステック ASTECH チューニングコントローラー DC-10P

プラズマ装置の高周波(RF)電源と放電電極の間に入る整合器(マッチングボックス)を操作するためのチューニングコントローラ。整合器の中の可変素子を動かして電源から見たインピーダンスを合わせ、反射電力を抑えて電力が効率よくプラズマに入るようにする。エッチングやスパッタ、プラズマCVDなどのRF放電を使う装置で、整合器の調整を装置の外から行うために使われる。
入力電源はAC100V 3A。国内のRF電源・整合器メーカーであるアステックの日本製の製品。
制御できる整合器の種類、出力の仕様、自動と手動の切り替え方などは公開資料が無く確かめられていない。用途の説明には同社のマッチングボックスの構成からの推測を含むため、組み合わせる整合器の型式は現品と手持ちの装置で確かめる必要がある。