中古 ダイヘン チューニングコントローラー CMC-10

本装置は、半導体製造プロセスやフラットパネルディスプレイ製造などの各種プラズマ処理（エッチング、CVD、スパッタリング等）に用いられる高周波電源システムにおいて、負荷側のインピーダンス変動を自動的に補正する整合器（マッチングネットワーク）専用の制御ユニットです。

真空チャンバー内のプラズマ状態の変化に伴うインピーダンスのズレをリアルタイムで検出し、整合器内部の可変コンデンサ（真空バリコン等）に接続されたDCモーターを駆動させます。これにより、高周波電源の出力インピーダンス（通常50Ω）と負荷側のインピーダンスを正確に整合させ、反射波電力を最小限に抑制します。

前面のコントロールパネルには「AUTO（自動）」と「MANUAL（手動）」の動作モード切り替え機能が備わっており、手動モード選択時には「TUNE（同調）」および「LOAD（負荷）」の各スイッチを用いて、モーター位置を個別に微調整することが可能です。さらに、各可変コンデンサの現在位置を0〜100%の範囲で視覚的に確認できるアナログメーター（ポジションインジケーター）を2基搭載しているため、プロセス条件の再現性確認や、放電異常時のトラブルシューティングを的確に行うことができます。プラズマの安定維持と高周波電力の効率的な伝送を支える、堅牢なアナログ制御方式のコントローラーです。