中古 ダイヘン チューニングコントローラー CMC-10

本装置は、半導体製造（プラズマCVD、エッチング、スパッタリング等）や液晶ディスプレイ製造などのプラズマプロセスにおいて、高周波（RF）電源とプラズマ負荷間のインピーダンス整合を自動的に最適化するための整合器（オートマッチングネットワーク）専用コントローラーです。

プラズマプロセスの実行中は、チャンバー内のガス圧やプラズマ密度の変化によって負荷インピーダンスが絶えず変動し、電力の反射波が発生します。本装置は、マッチングボックス側に搭載された検出器からの位相誤差信号およびインピーダンス誤差信号を常時モニタリングし、反射波電力が最小となるようマッチングボックスに内蔵された2つの可変コンデンサ（TUNE側・LOAD側）の駆動モーターへ精密なフィードバック制御を行います。

動作モードとして、プラズマの変動にリアルタイムで追従する「AUTO（自動）モード」、手動で微調整を行う「MANUAL（手動）モード」、およびプロセス開始前にあらかじめ指定したコンデンサ位置へ移動させる「PRESET（プリセット）モード」を搭載しています。特にプリセット機能を利用することで、チューニングにかかる時間を大幅に短縮し、プラズマ着火の安定性とプロセスの再現性を向上させることができます。また、外部I/Oや通信インターフェースを備えており、上位の製造装置ホストシステムからの遠隔操作やステータス監視にも対応しています。