中古 ダイヘン チューニングコントローラー CMC-10
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- メーカー
- ダイヘン
- 型式
- CMC-10
- 機種
- チューニングコントローラー
- 管理番号
- Z18032014
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
CMC-10 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 表示部 | 液晶 2行×20字（LEDバックライト） |
|---|---|
| 外形寸法(W×D×H) | 170×100×44 mm |
| 質量 | 約0.5 kg |
| 冷却方式 | 自然空冷 |
| 電源端子台 | 3ピン（+24V／0V／FG） |
| 制御用入出力コネクタ | TUNER：D-sub9ピン ソケット |
| 通信インタフェース | RS-232C（D-sub9ピン）／パラレル入出力（D-sub25ピン） |
| 操作モード | 自動（AUTO）／手動（MANUAL） |
| 使用周囲温度 | 5〜45 ℃ |
| 使用周囲湿度 | 30〜85（結露しないこと） %RH |
| 組み合わせる整合部の周波数 | 13.56 MHz |
| 組み合わせる整合部の最大許容通過電力 | 1000 W |
| 整合時間 | 3.0秒以内 |
※上記は標準的なモデルに基づく参考仕様です。製造時期や組み込まれていたシステム（カスタマイズ等）により、実際の仕様や接続インターフェースが一部異なる場合があります。
出典: メーカー資料
ダイヘン CMC-10 の装置概要 AIによる記述です
本機は、半導体製造装置や液晶ディスプレイ製造工程などのプラズマプロセス（CVD、エッチング、スパッタリング等）において、高周波（RF）整合器を制御するための自動チューニングコントローラーです。プラズマ状態の変動に伴う負荷インピーダンスの変化を瞬時に検知し、高周波電源から供給される電力の反射波が最小（目標インピーダンス50Ω）になるよう、整合器内部の可変コンデンサ（バリコン）をモーター駆動により自動調整します。
フロントパネルには、自動（AUTO）と手動（MANUAL）の操作モード切り替えスイッチを搭載しており、プロセス立ち上げ時やメンテナンス時の細かなマニュアル操作にも柔軟に対応します。また、チューニング（TUNE）およびロード（LOAD）の各バリコンポジションや、チューニング完了などの動作ステータスを視覚的に確認できる表示部を備えており、的確なモニタリングが可能です。
主に同社製の高周波電源やマッチングボックスとシステムとして組み合わせて使用され、安定したプラズマ放電の維持とプロセスの再現性向上に寄与する装置です。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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