中古 ダイヘン チューニングコントローラー CMC-10

本機は、半導体製造装置や液晶ディスプレイ製造装置のプロセスで用いられる高周波（RF）プラズマシステムにおいて、高周波電源とプラズマ負荷間のインピーダンスを自動的に50Ωに整合させるための制御ユニットです。主に同社製の自動整合器（マッチングボックス）と組み合わせて使用され、プラズマの着火や状態変化に伴うインピーダンスの変動をリアルタイムで検知し、整合器内に搭載された2つの可変コンデンサ（TUNEおよびLOAD）を駆動するDCモーターに対して制御信号を出力します。

操作モードとして、誤差信号に基づき自動でインピーダンスを追従させる「AUTO」モードと、フロントパネルのスイッチ操作により任意の位置へ手動調整を行う「MANUAL」モードを備えています。フロントパネルには、TUNEとLOADそれぞれの現在位置を0〜100%の範囲で視覚的に確認できるポジションインジケーターが配置されており、運用中の整合状態のモニタリングを容易に行うことができます。また、背面には外部制御用のインターフェースを備えており、上位デバイスからの遠隔操作（リモートコントロール）やステータス監視に対応しています。プラズマエッチング、CVD、スパッタリングなどの真空プロセスにおいて、反射波を最小限に抑え、安定した高周波電力の供給を維持するために不可欠なコンポーネントです。