中古 ダイヘン チューニングコントローラー CMC-10

本装置は、半導体製造や液晶パネル製造におけるプラズマエッチング、CVD、スパッタリング装置等で用いられる高周波電源用のインピーダンス整合（チューニング）コントローラーです。高周波電源から供給される電力をプラズマ負荷（チャンバー）へ効率よく伝送するため、専用のマッチングネットワーク（整合器）と接続して使用されます。プロセス中のプラズマ状態の変化に伴うインピーダンス変動をリアルタイムで検出し、電源側の出力インピーダンスである50Ωに自動的に整合させる役割を担います。

装置内部の制御回路は、整合器内のTUNE（同調）およびLOAD（負荷）用真空可変コンデンサを駆動するモーターへ正確な指示を送ります。フロントパネルにはAUTO（自動整合）とMANUAL（手動整合）の切り替えスイッチを備えており、プロセスの立ち上げ時やメンテナンス時の手動調整も容易に行えます。また、フロントパネルのインジケーターにより、可変コンデンサの現在位置（0〜100%）や整合状態を直感的に確認することが可能です。

プラズマプロセスにおいて反射波電力を最小限に抑え、安定した放電を維持するための重要な制御ユニットです。既存設備の保守・リプレイス用コンポーネントとして、あるいは研究開発向けの高周波システム構築において実用的な機器となります。