中古 ダイヘン チューニングコントローラー CMC-10

本装置は、半導体や液晶パネル製造などのプラズマプロセス（CVD、エッチング、スパッタリング等）において、高周波（RF）電源とチャンバー（負荷）間のインピーダンス整合を行うマッチングユニットを操作・制御するためのオートチューニングコントローラーです。プラズマの着火時やプロセス進行中に変動する負荷インピーダンスの誤差信号（位相およびインピーダンスのズレ）をリアルタイムで検出し、マッチングユニット内部の可変コンデンサを駆動させる2軸のモーター（TUNE側およびLOAD側）へ制御信号を出力します。これにより、システム全体を標準的な50Ωのインピーダンスに自動整合させ、電源側への反射電力を最小限に抑えます。

フロントパネルからの操作により、自動（AUTO）と手動（MANUAL）の制御モード切り替えが可能です。手動モードでは、プロセスの条件出しやメンテナンス時に各可変コンデンサのポジションを任意の数値に微調整できます。また、プラズマ着火前の初期位置をあらかじめ指定するプリセットポジション機能を備えており、オートチューニングの応答時間を短縮させることが可能です。高周波システムにおいて安定したプラズマ放電を維持し、電力伝送効率の最適化を担う重要な制御ユニットとして機能します。