中古 アイシン コールドヘッド RF271SA

本装置は、ギフォード・マクマホン（GM）サイクルを原理とする極低温冷凍機システムにおける膨張機（コールドヘッド）です。高純度ヘリウムガスを作動流体とし、別置きの専用ヘリウムコンプレッサユニットと組み合わせてガスを閉回路内で循環・断熱膨張させることで、極低温環境を生成します。主に、半導体製造装置や真空蒸着装置などに用いられるクライオポンプの冷却源や、超伝導マグネット、極低温物性実験装置の冷却用途として広く採用されています。

内部は2段階の冷却領域を持つ2段式構造となっており、シリンダ内でディスプレーサ（ピストン）がモーターによって往復運動を行います。第1ステージで熱輻射シールドやバッフルを冷却し、第2ステージでクライオパネルなどの極低温部を直接冷却する設計です。数万時間の連続運転を想定した堅牢な構造ですが、安定した冷却能力を維持するためには、摺動部のシール部品などの定期的なオーバーホールが必要となります。中古機器としてシステムに組み込む際は、過去の積算稼働時間やメンテナンス履歴に加え、接続予定のコンプレッサやヘリウムガス配管との仕様適合性を事前に確認することが重要です。