中古 アルバック Ulvac 電離真空計 GI-TL3
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- メーカー
- アルバック Ulvac
- 型式
- GI-TL3
- 機種
- 真空計
- 仕様
- ケーブル、センサー付き
- 管理番号
- Z26032618
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
GI-TL3 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 測定圧力範囲 | 1.3×10⁻⁵〜6.7×10⁻¹Pa(WIT系測定子)／1.3×10⁻⁶〜1.3×10⁻²Pa(WIB系測定子) |
|---|---|
| 測定レンジ | 直線目盛 10⁻⁶〜10⁻¹Pa の6レンジ／対数目盛 1×10⁻⁵〜1Pa の1レンジ |
| 測定精度 | 直線目盛±15%／対数目盛±50% |
| 圧力表示 | アナログ表示 |
| 脱ガス方式 | グリッド直接通電加熱 |
| レコーダ出力 | DC0〜10V |
| 制御出力 | エミッション電流出力(接点出力) |
| 制御入力 | フィラメントON/OFF、DEGAS ON/OFF |
| フィラメント保護 | メータフルスケールの120%でOFF |
| 使用温度範囲 | 10〜40 ℃ |
| 入力電圧 | AC100V ±10% 50/60Hz |
| 消費電力 | 71 VA |
| 質量 | 5.4 kg |
| 外形寸法 | 240×303×99(W×D×H) mm |
※上記は当該シリーズの標準モデルにおける一般的な仕様に基づく参考値です。公式カタログ等ではデジタル表示モデルや多機能モデルと仕様が併記されているケースがありますが、本記載はアナログ指示・単独測定モデルの特性を中心に抽出しています。付属センサーの種類や機器の経年状態により、実際の測定下限値や精度は変動する場合があります。
出典: メーカー資料
アルバック Ulvac GI-TL3 の装置概要 AIによる記述です
本装置は、高真空から超高真空領域における圧力測定を目的とした熱陰極型の電離真空計コントローラーおよび測定セットです。真空チャンバー内の残留ガス分子を熱電子によって電離させ、その際に発生する微小なイオン電流を増幅・捕捉することで、システム内の圧力を高感度に測定する原理を採用しています。主に半導体製造プロセス、真空蒸着・スパッタリング装置、各種研究開発用の高真空排気システムなど、精密な真空管理が不可欠な環境において幅広く利用されています。
本品には専用のセンサー（測定子）および接続ケーブルが付属しており、既存設備の更新や予備機としての運用をスムーズに行うことが可能です。前面パネルには視認性に優れたアナログメーターや操作スイッチが配置されており、測定レンジの切り替えやエミッション電流の選択など、現場での直感的な状態把握と操作をサポートします。
熱陰極電離真空計は広範な高真空領域において安定した連続測定が可能ですが、フィラメントを高温で加熱する特性上、大気圧や低真空領域での通電はセンサーの急激な消耗や断線につながります。そのため、ピラニ真空計等の粗引き用真空計と併用し、適切な圧力（一般に1.0×10^-1 Pa以下）に到達した後に測定を開始する運用が必要です。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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