中古 ファイファー Pfeiffer ターボ分子ポンプ（TMP） HiPace300Plus／TC110
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- メーカー
- ファイファー Pfeiffer
- 型式
- HiPace300Plus／TC110
- 機種
- ターボ分子ポンプ（TMP）
- 年式
- 2018年
- 管理番号
- Z26090501
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
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HiPace300Plus／TC110 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 排気速度(N2) | 260 L/sec |
|---|---|
| 排気速度(Ar / He / H2) | 255 / 255 / 220 L/sec |
| 到達圧力(DN100 ISO-K / ISO-F) | <1×10⁻⁷ hPa |
| 到達圧力(DN100 CF-F) | <5×10⁻¹⁰ hPa |
| 吸気口フランジ | DN100 ISO-K / CF-F / ISO-F のいずれか |
| 排気口フランジ | DN16 ISO-KF / G1/4" |
| 圧縮比(N2 / He / H2) | >1×10¹¹ / >1×10⁸ / 9×10⁵ |
| 許容背圧(N2) | 15 hPa |
| 定格回転数 | 60000(可変範囲35〜100%) rpm |
| 立上り時間 | 3.5 min |
| 動作電圧 | 24 V DC |
| 最大消費電力 | 180 W |
| 冷却方式 | 空冷(水冷はオプション、冷却水15〜35℃・50 L/h) |
| インターフェース | RS-485、リモート |
| 質量 | 5.8(ISO-K) / 7.8(CF-F) / 6.1(ISO-F) kg |
※現品は別途DC電源・ケーブルの準備が必要
※吸気口フランジはDN100 ISO-K / CF-F / ISO-F の3種があり、到達圧力と質量が異なる。現品のフランジは要確認
※取説の銘板例では同シリーズで質量6.7kgの表記もあり、構成(TC 110の有無等)により質量は変わる
出典: メーカー資料
ファイファー Pfeiffer HiPace300Plus／TC110 の装置概要 AIによる記述です
高速回転する翼列で気体分子をはじき出し、分子流領域の高真空から超高真空を作るターボ分子ポンプです。軸受はハイブリッド方式(高真空側が永久磁石軸受、排気側がセラミックボールベアリング)で、駆動用電子ユニットTC 110をポンプ本体に一体で取り付けた構成のため、専用コントローラーを別置きする必要がありません。窒素に対する排気速度は260 L/secで、口径DN100クラスの成膜・分析・研究用チャンバーの主排気に用いられます。
動作には背圧側の粗引きポンプ(ロータリーポンプやドライポンプ)が必要で、許容背圧は窒素で15 hPaです。TC 110は24 V DCで動作するため、商用電源から使う場合は別途DC電源が要ります。現品は備考のとおりDC電源とケーブルが付属しないため、運転にはこれらの準備が必要です。回転数は定格60000 rpmで、35〜100%の範囲で可変できます。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。