中古機 ゲートバルブ Vat製、型式0340X-LA24-BJK1/0040のご紹介

【AIによる装置概要】
真空室どうしのあいだで基板を出し入れする開口を開け閉めする、矩形(角型)のゲートバルブ。VATのMONOVATシリーズ03のインサート型で、装置の壁の中にバルブを差し込んで組み込む形のため、外に張り出す部分を小さくできる。半導体や液晶の製造装置で、搬送室とプロセス室を仕切るのに使われる。
駆動は3本のシリンダを使う複動式の空圧アクチュエータで、制御電圧は24V。推奨する作動空気圧は2〜6bar(30〜90psi)。ゲートの差圧は両方向に1.2bar、開放時は30mbar以下。シールはFKM(バイトン)、メンテナンスまでの動作回数は500万回以上。
型番の末尾のXは標準表に無い特注の寸法を示し、開口の寸法は実測が要る。034系とサフィックスLAはデータシートの発注表に無く、材質も確かめられていない。
【AIによる参考仕様】
・種別：矩形(角型)ゲートバルブ MONOVAT シリーズ03(インサート型)
・型番：0340X-LA24-BJK1/0040
・開口寸法：型番末尾Xのため標準表に無い特注寸法(要実測)
・駆動方式：複動式 空圧アクチュエータ(3シリンダ)、制御電圧24V
・推奨作動空気圧：2〜6 bar(30〜90 psi)
・ゲート差圧：1.2 bar(両方向)、開放時 ≤30 mbar
・シール：FKM(バイトン)
・メンテナンスまでの動作回数：500万回以上
※共通仕様はVATのMONOVAT シリーズ02/03データシート。型番の034系とサフィックスLAは発注表に無く、開口寸法・材質は未確認。