中古機 ゲートバルブ Vat製、型式0340X-LA24-BJK1/0040のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造装置や各種真空システムのチャンバー間隔離、および真空排気ラインの開閉制御などに組み込まれる空圧駆動式の高真空・超高真空向けゲートバルブです。内部のシール機構には独自のカム連動技術などが採用されており、ゲート部にかかる機械的摩擦を最小限に抑えることでパーティクルの発生を大幅に低減し、クリーンなプロセス環境を維持します。

空圧シリンダーによる遠隔からの自動制御に対応しており、開閉時の振動や衝撃を抑えたスムーズな動作を実現しています。バルブ全開時には流路を遮るものがない構造となるため、高いコンダクタンス（排気効率）を確保し、目的の真空度への到達時間を短縮します。ボディ部には耐食性と低脱ガス特性に優れた高品質なステンレス鋼などの素材が使用され、真空引き後のベーキング処理（加熱脱ガス）にも対応可能な設計です。研究開発用途から量産ラインまで、確実な真空隔離と高い信頼性が求められる幅広いプロセスで活用できます。

【AIによる参考仕様】
・駆動方式：空圧式（複動シリンダー）
・想定呼び径（フランジサイズ）：DN 250（10インチ相当）※型式コードからの参考値
・圧力範囲：1.0 × 10^-8 mbar ～ 1.2 bar（絶対圧）
・リークレート（バルブボディおよびシート）：< 1.0 × 10^-9 mbar・l/s
・動作機構作動圧（圧縮空気）：0.4 ～ 0.7 MPa（4 ～ 7 bar）
・許容差圧：バルブ開閉時 30 mbar以下 / ゲート閉鎖時の片側差圧 1.2 bar以下
・バルブ開閉時間（参考）：開動作 約3.0秒 / 閉動作 約3.0秒
・耐熱温度（ベーキング時上限の目安）：バルブボディ 150℃ / アクチュエータ部 80℃
・材質：ボディ＝ステンレス鋼 / シール材＝FKM（フッ素ゴム系エラストマー）等
・取付姿勢：任意

※本仕様は同シリーズの標準的なデータに基づくAIによる参考値です。末尾のカスタマイズコード等により、シール材質、付属ソレノイドの駆動電圧、リミットスイッチの仕様が標準仕様と異なる場合がありますので、実際のシステム導入環境に合わせてご確認ください。