中古機 ゲートバルブ Vat製、型式14040-JE01-0004のご紹介

【AIによる装置概要】
本機は、超高真空（UHV）環境下での使用を目的とした空圧駆動式のゲートバルブです。主要な構造として、バルブボディのシール機構にメタルシール（無酸素銅ガスケット）を採用し、弁体（ゲート）側にはフッ素ゴム（FKM）シールを使用することで、高い気密性を確保しています。適用圧力範囲は1×10⁻¹⁰ mbarの超高真空領域から1.2 bar（絶対圧）まで対応しており、ボディ部分の許容ベークアウト温度は最大250℃（アクチュエータ部分は最大80℃）と、真空排気プロセスにおける加熱脱ガス処理に適した仕様となっています。

フランジサイズはJIS規格の65A（呼び径DN63相当）であり、各種真空装置や排気システムの主排気バルブ、またはチャンバー間の隔離バルブとして広く利用されます。駆動方式は複動の空圧式（Pneumatic, double acting）を採用しており、開閉動作にかかる時間は約1.5秒です。動作に必要な圧縮空気圧は5～7 barの範囲が推奨されています。コンダクタンス（分子流領域）は約155 L/sを備え、効率的な排気性能を維持しつつ、ボディからの漏れ量は5×10⁻¹⁰ mbar・L/s未満に抑えられています。半導体製造装置や表面分析装置、各種研究開発用の真空チャンバーなど、厳密な真空制御が求められるシステムに組み込まれる構成要素として機能します。

【AIによる参考仕様】
・駆動方式: 空圧・複動式（Pneumatic, double acting）
・フランジ規格: JIS 65A（呼び径 DN63相当）
・適用圧力範囲: 1 × 10⁻¹⁰ mbar ～ 1.2 bar（絶対圧）
・許容漏れ量（バルブボディ）: 5 × 10⁻¹⁰ mbar・L/s 未満
・許容漏れ量（バルブシート）: 1 × 10⁻⁹ mbar・L/s 未満
・コンダクタンス（分子流）: 約155 L/s
・開閉時間: 開・閉ともに約1.5秒
・推奨圧縮空気圧: 5 ～ 7 bar（72 ～ 102 psi）
・許容温度（バルブボディ）: 最大 250 ℃（ボンネット開閉時不問）
・許容温度（空圧アクチュエータ）: 最大 80 ℃
・接ガス部材質: ステンレス鋼（AISI 304L または 1.4306 相当）
・シール材質（ボンネット）: メタル（無酸素銅）
・シール材質（ゲート）: フッ素ゴム（FKM）
・動作寿命（初回メンテナンスまで）: 50,000回