中古機 ゲートバルブ Vat製、型式10844-CE44-0005/0322のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、超高真空（UHV）環境下での使用を目的として設計された空圧複作動式のゲートバルブです。主に半導体製造プロセスや各種真空排気システムにおける隔離バルブとして機能し、1×10⁻¹⁰ mbarの超高真空領域から1.2 barまでの幅広い圧力範囲に対応します。接続部にはDN100サイズのCF-F（コンフラット）フランジが採用されており、真空側および大気側の双方に対して極めて高い密閉性を確保しています。

ボディ部分は耐食性に優れたステンレス鋼で構成されています。ボンネットシールにはメタルシール、ゲートシールにはFKM（フッ素ゴム）を採用しており、バルブボディで5×10⁻¹⁰ mbar L/s未満、シート部で1×10⁻⁹ mbar L/s未満という厳しいリークレート基準をクリアしています。また、装置稼働時のベイクアウト（加熱脱ガス）にも対応しており、バルブオープン時には最大250℃、クローズ時には最大200℃までの加熱が可能です。

アクチュエータは5〜7 barの駆動空気圧で動作する空圧シリンダーを備えており、パーティクルの発生を抑えたスムーズで衝撃の少ない開閉動作を実現します。また、バルブの開閉状態を電気的にモニタリングするポジションインジケータも組み込まれており、自動制御システムへの統合が容易です。長寿命かつメンテナンス性に優れた構造により、高い信頼性が要求される過酷な真空プロセスにおいても安定したパフォーマンスを提供します。

【AIによる参考仕様】
バルブタイプ：UHV用ゲートバルブ（Series 10）
アクチュエータ方式：空圧複作動式（ポジションインジケータ付き）
フランジ規格：DN100 CF-F
フランジネジ仕様：メトリックネジ
適用圧力範囲：1 × 10⁻¹⁰ mbar ～ 1.2 bar（絶対圧）
リークレート（バルブボディ）：< 5 × 10⁻¹⁰ mbar L/s
リークレート（バルブシート）：< 1 × 10⁻⁹ mbar L/s
最大許容温度（バルブボディ・オープン時）：250 ℃
最大許容温度（バルブボディ・クローズ時）：200 ℃
最大許容温度（アクチュエータ）：80 ℃
ボディ材質：ステンレス鋼
ボンネットシール材質：メタル
ゲートシール材質：FKM（フッ素ゴム）
駆動空気圧：5 ～ 7 bar (0.5 ～ 0.7 MPa)