中古 ゲートバルブ
メーカー名
Vat
型式95244-PAGC-AAQ1/0094
年式表記：
仕様:コンボコントロールバルブ
仕様:コンボコントロールバルブ
本体価格(税別、送料別)
80,000円
【AIによる装置概要】
本製品は、真空プロセスにおいてチャンバーの精密な圧力制御と高真空隔離（アイソレーション）を単一のユニットで実行するコンボコントロールバルブです。スロットルバルブとしてのコンダクタンス調整機能と、ゲートバルブとしての完全密閉機能を兼ね備えており、排気ラインの省スペース化と部品点数の削減に寄与します。
圧力制御には高分解能なステッピングモーターを使用しており、プロセス中のガス流量の変動に対しても迅速かつ安定したコンダクタンス調整を実現します。また、隔離機能には空圧駆動を採用しており、閉鎖時の確実なシール性を確保します。主にエッチング、CVD、スパッタリングなどの半導体・液晶製造プロセスにおける高真空排気システムに組み込まれ、1×10^-8 mbar台の高真空領域から大気圧付近までの環境下で運用される設計です。内部機構の摩擦を低減し、パーティクルの発生を極力抑えた構造により、クリーンな真空環境の維持が求められる製造装置に適しています。
【AIによる参考仕様】
・バルブタイプ：圧力制御・高真空隔離兼用 コンボコントロールバルブ
・駆動方式：ステッピングモーター（圧力制御用）および 空圧シリンダー（隔離開閉用）
・呼び径サイズ：DN 160（型式内サイズコード「44」に基づく参考値）
・動作圧力範囲：1×10^-8 mbar ～ 1.2 bar（絶対圧）
・バルブシートリークレート：1.0×10^-9 mbar・L/s 未満
・バルブボディリークレート：1.0×10^-9 mbar・L/s 未満
・最大許容差圧（バルブ閉時）：1.2 bar または 1.0 bar（チャンバー側・ポンプ側の両方向）
・想定ボディ材質：アルミニウム合金（ハードアルマイト等の表面処理）
・想定シール材質：FKM（標準的なOリング）
・動作温度上限：バルブボディ 最大 120 ℃ または 150 ℃（実装されているOリング材質に依存）
・設置方向：任意（垂直・水平いずれも可）
本製品は、真空プロセスにおいてチャンバーの精密な圧力制御と高真空隔離（アイソレーション）を単一のユニットで実行するコンボコントロールバルブです。スロットルバルブとしてのコンダクタンス調整機能と、ゲートバルブとしての完全密閉機能を兼ね備えており、排気ラインの省スペース化と部品点数の削減に寄与します。
圧力制御には高分解能なステッピングモーターを使用しており、プロセス中のガス流量の変動に対しても迅速かつ安定したコンダクタンス調整を実現します。また、隔離機能には空圧駆動を採用しており、閉鎖時の確実なシール性を確保します。主にエッチング、CVD、スパッタリングなどの半導体・液晶製造プロセスにおける高真空排気システムに組み込まれ、1×10^-8 mbar台の高真空領域から大気圧付近までの環境下で運用される設計です。内部機構の摩擦を低減し、パーティクルの発生を極力抑えた構造により、クリーンな真空環境の維持が求められる製造装置に適しています。
【AIによる参考仕様】
・バルブタイプ：圧力制御・高真空隔離兼用 コンボコントロールバルブ
・駆動方式：ステッピングモーター（圧力制御用）および 空圧シリンダー（隔離開閉用）
・呼び径サイズ：DN 160（型式内サイズコード「44」に基づく参考値）
・動作圧力範囲：1×10^-8 mbar ～ 1.2 bar（絶対圧）
・バルブシートリークレート：1.0×10^-9 mbar・L/s 未満
・バルブボディリークレート：1.0×10^-9 mbar・L/s 未満
・最大許容差圧（バルブ閉時）：1.2 bar または 1.0 bar（チャンバー側・ポンプ側の両方向）
・想定ボディ材質：アルミニウム合金（ハードアルマイト等の表面処理）
・想定シール材質：FKM（標準的なOリング）
・動作温度上限：バルブボディ 最大 120 ℃ または 150 ℃（実装されているOリング材質に依存）
・設置方向：任意（垂直・水平いずれも可）