中古 ゲートバルブ
メーカー名
Vat
型式12145-PA14-0001/0003
年式表記：
仕様:エアー駆動
仕様:エアー駆動
本体価格(税別、送料別)
120,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、真空システムにおいて超高真空（UHV）および高真空（HV）ラインの遮断・開放（アイソレーション）を行うためのエアー駆動式ゲートバルブです。駆動部の軸封には金属ベローズシールが採用されており、大気側からのコンタミネーションを完全に遮断し、クリーンな真空環境を長期間維持します。半導体製造装置や真空成膜装置、各種研究開発用の真空チャンバーにおける仕切りや、真空ポンプの保護など、高い信頼性が求められる工程で広く利用される構造です。
使用圧力範囲は超高真空領域である 1.0 × 10^-10 mbar から大気圧（最大 1.2 bar）まで幅広く対応しており、ボディおよびバルブシートのリークレートは 1.0 × 10^-10 mbar・L/s 未満という極めて高い気密性を確保しています。エアー駆動部は複動式（ダブルアクティング）となっており、4〜7 bar（0.4〜0.7 MPa）の圧縮空気供給によって確実な開閉動作を制御します。本機は末尾のカスタマイズ番号により特定のフランジ仕様やシール材が適用されたモデルであり、既存システムへの組み込みやメンテナンス時の交換部品として適しています。
【AIによる参考仕様】
駆動方式：エアー駆動（複動式）
軸封（シャフトシール）：金属ベローズ
使用圧力範囲：1.0 × 10^-10 mbar ～ 1.2 bar（絶対圧）
動作エアー圧力：4 ～ 7 bar（0.4 ～ 0.7 MPa）
バルブ閉時の許容差圧：1 bar（両方向）
開閉動作時の許容差圧：≤ 30 mbar
ボディリークレート：< 1.0 × 10^-10 mbar・L/s
シートリークレート：< 1.0 × 10^-10 mbar・L/s
ベーキング温度（バルブ開・閉時）：最大 200 ℃（※採用されているOリング等のシール材質に依存します）
本装置は、真空システムにおいて超高真空（UHV）および高真空（HV）ラインの遮断・開放（アイソレーション）を行うためのエアー駆動式ゲートバルブです。駆動部の軸封には金属ベローズシールが採用されており、大気側からのコンタミネーションを完全に遮断し、クリーンな真空環境を長期間維持します。半導体製造装置や真空成膜装置、各種研究開発用の真空チャンバーにおける仕切りや、真空ポンプの保護など、高い信頼性が求められる工程で広く利用される構造です。
使用圧力範囲は超高真空領域である 1.0 × 10^-10 mbar から大気圧（最大 1.2 bar）まで幅広く対応しており、ボディおよびバルブシートのリークレートは 1.0 × 10^-10 mbar・L/s 未満という極めて高い気密性を確保しています。エアー駆動部は複動式（ダブルアクティング）となっており、4〜7 bar（0.4〜0.7 MPa）の圧縮空気供給によって確実な開閉動作を制御します。本機は末尾のカスタマイズ番号により特定のフランジ仕様やシール材が適用されたモデルであり、既存システムへの組み込みやメンテナンス時の交換部品として適しています。
【AIによる参考仕様】
駆動方式：エアー駆動（複動式）
軸封（シャフトシール）：金属ベローズ
使用圧力範囲：1.0 × 10^-10 mbar ～ 1.2 bar（絶対圧）
動作エアー圧力：4 ～ 7 bar（0.4 ～ 0.7 MPa）
バルブ閉時の許容差圧：1 bar（両方向）
開閉動作時の許容差圧：≤ 30 mbar
ボディリークレート：< 1.0 × 10^-10 mbar・L/s
シートリークレート：< 1.0 × 10^-10 mbar・L/s
ベーキング温度（バルブ開・閉時）：最大 200 ℃（※採用されているOリング等のシール材質に依存します）