中古機 ゲートバルブ HVA製、型式11110-0405のご紹介

【AIによる装置概要】
本製品は、高真空および超高真空システムにおけるチャンバー間の遮断や、排気ラインのメインバルブとして設計されたステンレス鋼製の空圧式ゲートバルブです。駆動部のシールには金属製の溶接ベローズを採用しており、大気側からの不純物の侵入やリークを物理的に完全に遮断する構造となっています。また、バルブの開閉機構には衝撃を緩和する機構が組み込まれており、パーティクル（微小発塵）の発生を最小限に抑えるクリーンな動作を実現しています。

ポートの呼び径は4インチ（約101.6 mm）であり、コンダクタンスの低下を防ぐストレートスルー構造を採用しているため、大容量の真空ポンプを用いた排気システムに最適です。接続部には外径6.0インチのCF（コンフラット）フランジ規格が用いられており、銅ガスケットとの組み合わせにより極めて高い気密性を発揮します。ボンネットおよびゲートプレートのシール材には、耐熱性と低アウトガス特性に優れたバイトン（Viton）Oリングが使用されています。半導体プロセス装置、真空成膜装置（スパッタ・蒸着など）、および研究開発用の真空チャンバーなど、厳密な圧力制御と信頼性が求められる環境での運用に適した堅牢な設計です。

【AIによる参考仕様】
・動作方式: 空圧式（ニューマチック）
・フランジ規格: CFフランジ（外径 6.0インチ / 約 152.4 mm）
・ポート呼び径 (内径): 4.0インチ（約 101.6 mm）
・バルブ本体材質: 304ステンレス鋼
・駆動部シール方式: 溶接ベローズシール（ステンレス製）
・メインシール材質: バイトン（Viton）Oリング
・動作圧力範囲: 1×10^-10 Torr ～ 大気圧
・許容リークレート: 2×10^-10 std cc/sec 以下（ヘリウムリークテスト時）
・駆動用エア圧力: 0.4 ～ 0.7 MPa（約 60 ～ 100 psi）
・耐熱温度（ベークアウト温度）: バルブ開時 最大150℃（アクチュエータ等の非耐熱部を除く）
・設置方向: 任意（任意の向きで取り付け可能）