中古機 チューニングコントローラー ダイヘン製、型式CMC-10のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造（プラズマCVD、エッチング、スパッタリング等）や液晶ディスプレイ製造などのプラズマプロセスにおいて、高周波（RF）電源とプラズマ負荷間のインピーダンス整合を自動的に最適化するための整合器（オートマッチングネットワーク）専用コントローラーです。

プラズマプロセスの実行中は、チャンバー内のガス圧やプラズマ密度の変化によって負荷インピーダンスが絶えず変動し、電力の反射波が発生します。本装置は、マッチングボックス側に搭載された検出器からの位相誤差信号およびインピーダンス誤差信号を常時モニタリングし、反射波電力が最小となるようマッチングボックスに内蔵された2つの可変コンデンサ（TUNE側・LOAD側）の駆動モーターへ精密なフィードバック制御を行います。

動作モードとして、プラズマの変動にリアルタイムで追従する「AUTO（自動）モード」、手動で微調整を行う「MANUAL（手動）モード」、およびプロセス開始前にあらかじめ指定したコンデンサ位置へ移動させる「PRESET（プリセット）モード」を搭載しています。特にプリセット機能を利用することで、チューニングにかかる時間を大幅に短縮し、プラズマ着火の安定性とプロセスの再現性を向上させることができます。また、外部I/Oや通信インターフェースを備えており、上位の製造装置ホストシステムからの遠隔操作やステータス監視にも対応しています。

【AIによる参考仕様】
・制御対象: 自動整合器（TUNE軸・LOAD軸の2軸モーター制御）
・動作モード: AUTO（自動） / MANUAL（手動） / PRESET（プリセット）
・制御方式: 位相誤差およびインピーダンス誤差検出によるサーボモーター制御
・入力電源: 単相 AC100V～240V （50/60Hz）
・消費電力: 約50 VA
・位置表示機能: TUNE / LOAD のコンデンサポジション表示（0～100%）
・フロントパネル表示: 進行波（PF）/ 反射波（PR）レベルインジケータ、アラーム表示
・外部インターフェース:
　　リモートコントロール用 I/Oポート（D-Subコネクタ）
　　シリアル通信ポート（RS-232C準拠）
・保護・アラーム機能: インターロック、モーター駆動異常、マッチング異常（タイムアウト等）
・使用周囲温度範囲: 5℃ ～ 40℃
・使用周囲湿度範囲: 80%RH以下（結露なきこと）
・筐体サイズ: EIA規格19インチラックマウント・ハーフサイズ準拠