中古 ダイヘン チューニングコントローラー CMC-10

本装置は、半導体製造や液晶ディスプレイ製造におけるプラズマプロセス（エッチング、CVD、スパッタリングなど）において、高周波（RF）電源とチャンバー内のプラズマ負荷間のインピーダンス整合を自動的に行うための専用コントローラです。プロセス中のガス圧力や高周波出力の変動により時々刻々と変化する負荷インピーダンスに対し、自動整合器（マッチングボックス）内のセンサーから送られる位相（Phase）およびインピーダンス（Load）の誤差信号をリアルタイムに検知します。

この誤差信号をもとに、整合器に内蔵されたチューン側およびロード側の真空コンデンサ駆動用モーターへ正確なパルス制御信号を出力し、静電容量を高速で可変させます。これにより、RF電源へ戻る反射波電力を最小化（通常50Ωにインピーダンス整合）し、極めて安定したプラズマ放電とプロセス再現性の維持に寄与します。前面パネルにはAUTO/MANUALの操作切替スイッチを搭載しており、プロセスに応じた自動追従制御を行うだけでなく、マニュアル操作によるコンデンサポジションの任意位置への微調整も可能です。