中古機 チューニングコントローラー ダイヘン製、型式CMC-10のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造や液晶ディスプレイ製造におけるプラズマプロセス（エッチング、CVD、スパッタリングなど）において、高周波（RF）電源とチャンバー内のプラズマ負荷間のインピーダンス整合を自動的に行うための専用コントローラです。プロセス中のガス圧力や高周波出力の変動により時々刻々と変化する負荷インピーダンスに対し、自動整合器（マッチングボックス）内のセンサーから送られる位相（Phase）およびインピーダンス（Load）の誤差信号をリアルタイムに検知します。

この誤差信号をもとに、整合器に内蔵されたチューン側およびロード側の真空コンデンサ駆動用モーターへ正確なパルス制御信号を出力し、静電容量を高速で可変させます。これにより、RF電源へ戻る反射波電力を最小化（通常50Ωにインピーダンス整合）し、極めて安定したプラズマ放電とプロセス再現性の維持に寄与します。前面パネルにはAUTO/MANUALの操作切替スイッチを搭載しており、プロセスに応じた自動追従制御を行うだけでなく、マニュアル操作によるコンデンサポジションの任意位置への微調整も可能です。

【AIによる参考仕様】
・用途: 自動整合器（オートマッチングボックス）用チューニング制御
・制御軸数: 2軸（TUNE用コンデンサ、LOAD用コンデンサ駆動用モーター制御）
・制御方式: 位相・インピーダンス誤差信号によるクローズドループ・フィードバック制御
・動作モード: AUTO（自動追従チューニング） / MANUAL（手動位置調整）
・適合システム: 13.56MHz等の高周波RF発生装置およびプラズマチャンバー
・フロントパネル機能: TUNE/LOAD手動操作スイッチ、モード切替スイッチ
・表示インジケータ: コンデンサポジション表示、マッチング完了状態、エラーアラーム表示
・インターフェース: 整合器接続用制御コネクタ、外部装置連携用リモートI/Oポート
・入力電源: 単相 AC100V～240V（50/60Hz）
・筐体仕様: 19インチラックマウント対応（ハーフサイズ幅）