中古 ダイヘン チューニングコントローラー CMC-10
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- メーカー
- ダイヘン
- 型式
- CMC-10
- 機種
- チューニングコントローラー
- 管理番号
- Z18032023
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
CMC-10 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 表示部 | 液晶 2行×20字（LEDバックライト） |
|---|---|
| 外形寸法(W×D×H) | 170×100×44 mm |
| 質量 | 約0.5 kg |
| 冷却方式 | 自然空冷 |
| 電源端子台 | 3ピン（+24V／0V／FG） |
| 制御用入出力コネクタ | TUNER：D-sub9ピン ソケット |
| 通信インタフェース | RS-232C（D-sub9ピン）／パラレル入出力（D-sub25ピン） |
| 操作モード | 自動（AUTO）／手動（MANUAL） |
| 使用周囲温度 | 5〜45 ℃ |
| 使用周囲湿度 | 30〜85（結露しないこと） %RH |
| 組み合わせる整合部の周波数 | 13.56 MHz |
| 組み合わせる整合部の最大許容通過電力 | 1000 W |
| 整合時間 | 3.0秒以内 |
※CMC-10はコントローラ単体の型式で、組み合わせる整合部によって扱える周波数と電力が変わる。社内取説にある13.56MHz・1000Wは整合部RMN-10A1と組み合わせたCMC-10A6の値
※社内には2.45GHz帯のマイクロ波自動整合器SMA-30Dと組み合わせるCMC-10A（Ver.1.4）の取説もあり、同じCMC-10系のコントローラが別用途にも使われている。現品の組み合わせ相手は要確認
※外形寸法・質量・液晶仕様はCMC-10A6のもの。サフィックス違いで差がある可能性がある
※整合部（RMN-10A1）側の値：外形寸法280(W)×400(D)×160(H)mm、質量約8kg、強制空冷。本商品はコントローラのみで整合部は含まない
出典: メーカー資料
ダイヘン CMC-10 の装置概要 AIによる記述です
高周波電源と負荷の間に入る自動整合器の整合部を制御し、反射電力が小さくなるようインピーダンス整合を行わせるためのコントローラーです。プラズマエッチングやCVDなどのプラズマ応用装置で、整合部の動作の指令と監視に使われます。操作モードは自動（AUTO）と手動（MANUAL）で、表示部は液晶 2行×20字（LEDバックライト）です。
接続部は整合部用のTUNER：D-sub9ピン ソケットと、上位装置との通信用のRS-232C（D-sub9ピン）およびパラレル入出力（D-sub25ピン）です。電源は3ピン（+24V／0V／FG）の端子台から供給し、冷却は自然空冷です。外形寸法は170×100×44 mm、質量は約0.5 kg、使用周囲温度は5〜45 ℃、使用周囲湿度は30〜85 %RH（結露しないこと）です。
扱える周波数と電力は組み合わせる整合部で変わり、代表例では周波数13.56 MHz、最大許容通過電力1000 Wの整合部と組み合わせ、整合時間は3.0秒以内です。寸法などの値も型式末尾により異なる場合があります。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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