中古機 DC電源 アネルバ　ANELVA製、型式PDC-028のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、真空成膜プロセス（主にスパッタリング装置）におけるプラズマ発生や直流バイアス印加を目的として設計されたDC（直流）電源です。真空チャンバー内で安定したグロー放電を維持するため、精密な出力制御機能を備えており、定電圧（CV）、定電流（CC）、および定電力（CP）モードを成膜条件に応じて使い分けることが可能です。

フロントパネルには視認性の高いメーター類が配置されており、出力時の電圧および電流の稼働状況を直感的に監視できます。また、プラズマプロセス特有の異常放電（アーキング）を瞬時に検知して出力をミリ秒単位で遮断・復帰させるアーク抑制機能を搭載しており、ターゲット材や基板の損傷を防止し、高品質な薄膜形成に寄与します。

外部制御インターフェースを通じて、ホストシステムやPLCと連動した自動化プロセスへの組み込みにも対応しています。標準的な19インチラックマウント設計を採用しているため、既存の真空装置システムへの増設やリプレイスメントにも適しています。研究開発用途から生産ラインまで、幅広い真空プロセスに活用される堅牢で信頼性の高い電源ユニットです。

【AIによる参考仕様】
・出力制御方式：定電圧（CV）／定電流（CC）／定電力（CP）制御
・入力電源：単相 AC200V / AC220V ±10%（50/60Hz）
・最大出力電圧レンジ：DC 0〜1000V クラス（※放電条件により変動）
・アーク処理機能：異常放電検知、高速出力遮断および自動復帰機能内蔵
・外部制御インターフェース：アナログ電圧制御（DC 0〜10V）、接点入出力（運転/停止、インターロック等）
・保護回路：過電流保護（OCP）、過電圧保護（OVP）、過温度保護（OTP）、冷却異常検知
・冷却方式：強制空冷ファン内蔵
・設置形態：EIA標準19インチラックマウント対応
・使用環境温度範囲：5℃〜40℃

（※AIによる補足：公式の仕様データシート等では同シリーズの複数型式（出力容量違いなど）が一覧で併記されているケースが多く見られます。本型式に固有の正確な定格出力電力（kW）や最大電流値（A）、および入力電源の相数・電圧設定については、導入時の仕様変更が存在する可能性があるため、必ず現物の銘板や背面パネルの記載値をご確認ください。）